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XTU-4C
XTU-4C

专业性能型膜厚仪XTU-4C

● 涂镀层厚度分析

● 各层合金成分分析

下照式微聚焦多准型,搭载先进的EFP算法软件和微光聚集技术,配合切换准直器在检测各微小及凹凸面样品时检出限更低,仪器寿命更长,性能更稳定。

 

性能优势

● 微聚焦加强型X射线装置

可测试各类极微小的样品,即使检测面积为0.002mm²的样品也可轻松、精准检测

● 微米级移动精度

高精密XY移动滑轨,实现多点位、多样品的精准位移和同时检测,移动精度可达微米级,轻松应对极微小样品检测

● 变焦装置及位置补偿算法

可对各种异形凹槽件进行无损检测,凹槽深度范围0-30mm

● 先进的解谱技术

减少能量相近元素的干扰,降低检出限

● 自主研发的EFP算法

多层多元素、各种元素及有机物,甚至有同种元素在不同层也可精准测量


技术参数

 

型号

XTU-4C

测量元素范围

Cl(17)- U(92)

涂镀层分析范围

Li(3)- U(92)

EFP算法

标配

分析软件

同时分析23个镀层,24种元素

不同层相同

元素检测能力

标配

软件操作

人性化封闭软件,自动判断故障提示校正及操作步骤,避免误操作

X射线装置

微聚焦加强型射线管

信号及接收

Pro-SD处理器+PC

准直器

Φ0.05mm;Φ0.1mm;Φ0.2mm;□0.03*0.2mm;四准直器自动切换

微光聚焦技术

最近测距光斑扩散度小于10%

测量距离

具有距离补偿功能,可改变测量距离测量凹凸异形样品,变焦距离可达0-30mm

样品观测

1/2.7”彩色CCD,变焦功能

对焦方式

高敏感镜头,手动对焦

放大倍数

25X-150X

仪器尺寸

545mm*380mm*430mm

样品舱尺寸

深400mm×宽340mm×高180mm

样品台移动

高精密XY手动滑轨

可移动范围

50mm*50mm

仪器重量

48KG

其他附件

电脑一套、打印机、附件箱、十二元素片、标准片、电镀液测量杯(选配)

X射线标准

DIN ISO 3497、ASTM B 568



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