美国 Axcelis Technologies公司及离子注入机(超高能)产品介绍
美国 Axcelis Technologies 总部设立于美国马萨诸塞州贝弗利，是全球半导体离子注入设备核心龙头厂商，拥有数十年高能离子注入装备研发量产积淀，核心产品覆盖超高能、高能、中电流、大电流全品类离子注入机，同时配套晶圆表面清洁设备、设备维保升级、备件供应与工艺开发服务。企业依托射频直线加速器核心专利技术，在超高能离子注入赛道具备显著技术优势，设备适配闪存存储、逻辑芯片、功率半导体、碳化硅宽禁带器件、电源管理芯片等各类晶圆制造掺杂工序，产品覆盖 8 英寸、12 英寸硅晶圆以及碳化硅特种晶圆制程，在全球主流晶圆制造厂、功率器件厂商保有大量装机量，凭借束流纯度控制、注入角度精准校正、长时间量产稳定性，满足先进存储芯片深层阱掺杂、功率器件厚外延层掺杂等严苛工艺需求，同时提供整机定制改造、 老旧注入设备性能升级、工艺配方调试等全生命周期配套服务。
