日本Ebara集团起源于日本，是覆盖精密电子设备、能源装备、建筑流体设备、环境水处理、固废处理五大板块综合工业集团，半导体精密设备是核心优势业务，化学机械研磨 CMP 设备为行业主流量产机型，依托自研研磨压力控制、多段式洁净、双模组并行架构技术，适配从成熟制程到先进工艺全尺寸晶圆平坦化加工。整套设备采用干进干出一体化无尘设计，可兼容氧化层、金属铜、钨、浅沟槽隔离等多类研磨工艺，配套在线膜厚检测、终点监测可选模块，兼顾晶圆厂大批量量产与研发试片需求，同时提供产线工艺调试、设备维保、耗材配套全链条技术服务，设备模块化结构便于现场维护升级，在全球各类晶圆制造、存储芯片、功率半导体工厂广泛部署。

日本Ebara CMP 化学机械研磨设备按照适配晶圆尺寸划分 150 毫米、200 毫米、300 毫米三大产品线，每条产品线再区分基础量产款、先进工艺旗舰款、节能新一代改良款，全部搭载双镜像模组布局，研磨盘与研磨头数量随机型规格调整，清洗单元统一配备三段式化学洁净、兆声刷洗、干燥一体化流程。150 毫米机型以 F-REX150M2 为主，配备两组研磨盘与两组研磨头，适配中小尺寸成熟功率器件、分立元件晶圆，设备占地紧凑，适合小型特色工艺产线；200 毫米主力机型为 F-REX200M2，双盘双头标准配置，兼容铝层、高介电材料、普通氧化层研磨，吞吐量均衡，可搭配终点实时监测、在线膜厚量测选配组件，广泛用于存储、成熟逻辑芯片工厂；300 毫米产品线包含 F-REX300S2 基础量产机型、F-REX300X 成熟高端机型、F-REX300XA 新一代节能旗舰机型，三款均搭载四研磨盘四研磨头架构，支持串行、并行多种研磨工艺排布，三段式清洗单元标准配置，F-REX300S2 主打成本均衡的成熟节点量产，适配钨、浅沟槽隔离基础工艺；F-REX300X 优化研磨均匀性，可满足铜互连先进制程平坦化要求，兼容多类特殊介质材料；F-REX300XA 采用全新传动与能耗控制结构，整机功耗降低，微区平整度管控精度更高，适配先进制程研发与大批量同步生产，另有 F-REX300X3SC 定制强化款，针对超精密先进工艺优化洁净与压力控制系统，全部机型支持不同研磨液、研磨垫配方程序自定义，成熟中小晶圆产线选用 150/200 毫米对应机型，300 毫米成熟量产选用 F-REX300S2，铜互连先进制程选用 F-REX300X，前沿先进工艺量产研发选用 F-REX300XA，超精细高端工艺可选用 X3SC 定制版本。

日本Ebara公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：

一、半导体精密设备

CMP 化学机械研磨设备

F-REX150M2

F-REX200M2

F-REX300S2

F-REX300X

F-REX300XA

F-REX300X3SC

CMP 配套功能模组

研磨终点实时监测单元

晶圆在线膜厚检测模组

研磨液供给分配系统

研磨垫自动修整装置

废浆废液处理单元

半导体干式真空泵

EV-X 系列干式螺杆泵

EV-M1205S

EV-M805SF

EV-S200N

EV-S20

EST 耐腐蚀螺杆真空泵

ESA15-D

ESA25-D

ESA25XW

ESA70W-D

AA200W

AA70WN

半导体废气处理设备

TND 燃烧式废气处理装置

半导体工艺冷却设备

半导体专用水冷机组

二、工业水泵及供水机组

立式多级不锈钢离心泵

EVMS

卧式端吸离心泵

GSC

FSC

FSSC

GS

立式管道离心泵

LPDC

卧式多级离心泵

MS420

MATRIX

工业流程泵

GSO 卧式工业流程泵

FPS 树脂离心泵

ULP 纸浆泵

潜水泵系列

DW、DW VOX 潜水排污泵

D 系列潜水污水泵

OPTIMA、BEST ONE、ONE VOX 潜水泵

SB3、WINNER、4BHS、6BHE (L)、8BHE (L) 深井潜水泵

DML 铸铁潜水排污泵

DMLV 涡流潜水泵

DS 半开叶轮潜水泵

DF 切割型潜水泵

剪切 / 螺旋杂质泵

ChopX 剪切泵

XCS 螺旋离心泵

变频供水成套机组

BNS 标准变频供水机组

DY-BN 罐式管网叠压机组

DY-BX 箱式管网叠压机组

Z 系列一体化智慧泵房

消防供水设备

WZ 消防增压稳压给水设备

水泵控制柜系统

PRESSCOMFORT 压力控制系统

SERVOPRESS 变频控制柜体

三、大型定制工业泵（电站 / 化工 / 市政）

HSB/HDB 定制双吸泵

HDR 高压定制泵

SP/SPD 多级中开泵

VX 大流量蜗壳泵

CN/CW 卧式双吸泵

DSC4 大流量排污泵

VL 超大型立式轴流泵

WEZ/WEN/UCW 石化流程泵

ZPY/ZPH 高温耐磨泵

CP 卧式双吸中开泵

KS/R2 (D) 石化流程泵

DC/DCN/HXB 高压多级泵

LG/WG 卧式高速泵

四、冷热空调与工业制冷设备

吸收式冷热机组

第一类吸收式热泵机组

第二类吸收式热泵机组

蒸汽型吸收式冷水机组

直燃型吸收式冷温水机组

热水型吸收式冷水机组

烟气余热回收设备

烟气全热回收一体机

离心式冷水热泵机组

螺杆式冷水热泵机组

闭式、开式工业冷却塔

五、环保水处理设备

OZW 臭氧水发生器

一体化污水处理装置

工业废水循环处理机组

六、配套耗材与维保配件

CMP 专用研磨垫

铜 / 钨 / 氧化层工艺研磨液

晶圆承载载环

金刚石研磨垫修整碟片

真空泵滤芯、密封保养套件

七、技术配套服务

晶圆 CMP 平坦化工艺调试

真空泵组运维与防腐改造

水泵系统能效优化改造

冷热机组余热利用方案设计

工业流体系统整体方案规划

其他注意事项：

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。

我公司自营进出口权，直接海外采购，国外现货航空件几天就能交到您的手中。