美国Entegris是全球半导体高纯材料与晶圆精密承载储运解决方案龙头企业，深耕晶圆制程污染管控、静电防护、高纯化学品输送、晶圆载具全链条产品研发制造，适配先进制程逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、化合物半导体全流程生产场景。晶圆传输容器是其核心制程载具产品线，覆盖晶圆厂内部制程转运 FOUP 前开式晶圆盒、出厂长途运输 FOSB 晶圆运输箱、SMIF 密闭晶圆制程盒、水平精密出货晶圆运输箱、中小尺寸晶圆卡匣等品类，全部采用抗静电低析出特种工程塑料打造，内置微环境洁净过滤结构，可对接工厂自动化 AMHS 机械手、FIMS 晶圆开门系统，适配超薄晶圆、键合晶圆、抛光完成品晶圆等脆弱晶片防护，同时提供载具清洗翻新、定制结构改版、配件更换维保全周期配套服务，在先进制程晶圆污染防护与自动化适配载具领域具备行业标杆地位。
美国Entegris晶圆传输容器按照使用场景划分为工厂制程内部转运 FOUP 晶圆盒、晶圆对外出货 FOSB 运输箱、200mm 及以下 SMIF 密闭制程载具、水平式成品晶圆运输箱、超薄晶圆专用加固载具五大主力产品线，全部遵循 SEMI 行业标准结构设计，具备静电泄放、颗粒阻隔、湿气管控特性。Spectra 系列是 300mm 量产主力 FOUP 前开晶圆盒，Spectra 标准款适配常规硅片量产转运，Spectra 高温款适配高温制程工序，Spectra 超薄晶圆加强款增设背部支撑结构避免薄片翘曲破损；A300 Advanced FOUP 属于高端先进制程定制 FOUP，面向 3nm 及以下先进工艺、堆叠键合晶圆，结构刚度大幅强化；SB300 是旗舰 300mm FOSB 晶圆出货箱，原生支持 FIMS 自动化开门，一体式晶圆定位卡槽杜绝运输晃动偏移，适合整片晶圆长途物流；SmartStack 水平式晶圆运输箱采用非接触悬空支撑结构，针对抛光完成高价值成品晶圆，隔绝摩擦划伤、离子污染与水汽侵蚀；200mm 制程搭载 M20X 系列 SMIF 密闭晶圆盒、200 Series 制式晶圆卡匣，分为 13 片、25 片、26 片三种标准容片规格；150mm 及更小尺寸配备 MW 系列小型晶圆运输卡匣，适配功率器件、化合物半导体小尺寸晶圆流转。12 英寸工厂量产制程选用 Spectra FOUP，先进制程超薄晶圆选用 A300 FOUP，晶圆对外出货物流选用 SB300 FOSB，高端成品晶圆长途交付选用 SmartStack 水平运输箱，8 英寸产线使用 M20X SMIF 载具，6 英寸及以下小尺寸晶圆选用 MW 系列卡匣。
瑞士Enlightra公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：
一、晶圆传输承载容器系列
300mm（12 英寸）FOUP 制程前开晶圆盒
Spectra 标准量产 FOUP
Spectra 高温制程 FOUP
Spectra 超薄晶圆加强 FOUP
A300 Advanced 先进制程高端 FOUP
300mm（12 英寸）FOSB 晶圆出货运输箱
SB300 自动化 FIMS 兼容 FOSB 运输箱
水平式精密成品晶圆运输箱
SmartStack 悬空支撑晶圆出货箱
200mm（8 英寸）密闭晶圆载具
M20X SMIF 密闭晶圆 Pod
PA200 标准晶圆传输卡匣
KA200 自动化晶圆卡匣
150mm 及以下中小尺寸晶圆卡匣
MW150N 150mm 晶圆承载盒
MW125N 125mm 晶圆承载盒
E90 系列晶圆存储盒
E124 系列晶圆存储盒
晶圆载具配套配件
SB300-FLTR-KIT 滤芯套件
SB300-30DH 侧把手改装套件
FOUP 自动化顶部法兰组件
FOUP 专用开门工装钥匙
ESD 密封胶条更换套件
RFID 晶圆载具识别标签模组
二、高纯液体过滤产品
光刻专用终端过滤器
IMPACT 8G 先进制程光刻过滤器
IMPACT 2 V2 通用光刻过滤器
通用化学药液滤芯
Fluorogard FP/FP-HP 滤芯
Fluorogard AT/ATX PTFE 折叠滤芯
Intercept HP/HS 耐酸精密滤芯
Torrento X 超高精度药液滤芯
QuickChange NX 快拆式过滤器
Microgard Plus 精密滤芯
ProcessGard NP 工业滤芯
超纯水纯化组件
Protego Plus 超纯水净化过滤器
滤瓶与过滤器壳体
Chemlock PFA/PP 滤瓶壳体
三、高纯气体净化与过滤设备
连续式气体纯化系统
GateKeeper Z3 高纯气体净化器
GateKeeper Z2 压缩干燥空气净化器
四、化学品输送系统
PFA 阀门组件
Integra 1/2" 节流阀
Integra 3/4" 节流阀
Integra 1" 节流阀
Dymension 阀组总成
高纯管路管件
FluoroLine 防静电 PFA 软管
工业级 PFA 直管
化学品储罐与容器
FluoroPure 日用储罐
FluoroPure 1000L IBC 吨桶
FluoroPure 200L 三层化工桶
快速接头与传感部件
Sentry QC II 快速接头
Sentry QCIII 安全接头
NT 系列压力变送器
五、半导体制程专用化学品
CMP 抛光研磨液
Semi-Sperse 钨抛光液
WIN 钨制程研磨液
iDIEL 介质层抛光液
EPOCH 铜抛光液
Novus 铝抛光液
SiLECT 硅片抛光液
SiCceed 碳化硅抛光液
晶圆清洗药液
PlanarClean 晶圆清洗液
TitanKlean 蚀刻后清洗液
ESC 专用清洗药剂
宽禁带半导体清洗液
ALD/CVD 前驱体材料
Advanced Deposition Materials 沉积前驱体
六、静电控制与洁净密封耗材
高纯防静电密封垫圈
半导体设备特种 O 型密封圈
防静电晶圆机械手端拾器
七、配套技术服务
FOUP 晶圆载具洁净清洗翻新
超薄晶圆载具结构定制改造
工厂 AMHS 机械手适配调试
FIMS 开门系统匹配验证
载具老化配件维保更换
惰性气体密闭载具定制改造
过滤系统现场性能标定
化学品输送管路洁净度调试
其他注意事项：
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。
我公司自营进出口权，直接海外采购，国外现货航空件几天就能交到您的手中。
