超大行程自动编程光谱仪XAD
● RoHS检测
XAD是一款全元素上照式荧光光谱仪,既保留了专用测厚仪检测微小样品和凹槽的膜厚性能,又可满足RoHS有害元素检测及成分分析,搭载全自动平台实现XYZ轴编程位移,实现无人值守多点测量,测量软件置入先进的EFP算法及解谱技术,解决了诸多业界难题。被广泛用于各类产品的来料检验、生产工艺控制的质量管控测量。
性能优势
● 微聚焦X射线装置
搭载微聚焦加强型X射线发生器和先进的光路转换聚焦系统,最小测量面积达0.03mm²
● 配备全自动可编程移动平台
移动行程达600*600mm,可实现无人值守,对成百上千个样品进行全自动检测
● 无损变焦检测技术
可对各种异形凹槽件进行无损检测, 可测凹槽深度范围:0-90mm
● 人性化封闭软件
自动判断故障提示校正及操作步骤,避免误操作
● 核心EFP算法
可对多层多元素,包括同种元素在不同层都可快、准、稳的做出数据分析
● 微光聚集技术
最近测距光斑扩散度小于10%