产品品牌：VSI
产品类型：5kV低功率杆式分离型模块结构的光电离装置机头
产品型号：VSB-900RD
采用分离型模块结构，可根据所需长度连接1~8个模块或拆卸，以所需长度灵活使用。另外，使用后需要更换的软X射线管可轻松拆卸，维护方便。
消除附近物体的静电
设备内部：摩擦机、步进式光刻机等
| 产品 | 项目 | 内容 |
|---|---|---|
| 通用 | 驱动温度 | 0~40℃ |
| 储存温度 | -10℃~60℃ | |
| 驱动湿度 | 60% 以内 | |
| 储存湿度 | 85% 以内 | |
| 机头 | 管电压 (DC) | 4.98 kV |
| (VSB-900RD) | 照射角度 | 150° |
| 电源输入 | DC +24 V | |
| 最大功耗 | 12 W | |
| 重量 | 350mm : 0.37 kg / 300mm : 0.35 kg |
