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美国FormFactor公司及探针卡产品介绍
2026-08-09
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美国FormFactor是总部坐落于美国的全球晶圆测试探针卡龙头厂商,聚焦半导体晶圆探针测试核心硬件与整套测试解决方案,依托自研 MEMS 微型弹簧探针、空间变换基板、高频同轴探针核心工艺,产品覆盖存储芯片、逻辑芯片、射频毫米波器件、功率半导体、先进封装晶圆全品类探针卡,同时配套探针台、射频探针、校准基板、测试校准软件与探针卡维保再生服务。产品适配消费电子芯片、车载功率器件、HBM 高带宽显存、3D NAND 闪存、5G 射频芯片、AI 高端处理器等晶圆量产分选与可靠性老化测试,可实现整片晶圆并行多点同步测试、超高频信号无损探测、宽温域高低温探针作业,在先进制程、高密度凸点、高频毫米波晶圆测试领域具备长期量产验证优势,为晶圆代工厂、存储原厂、射频半导体企业提供从工程验证到大批量量产的探针测试整体支撑。


美国FormFactor探针卡按照应用场景划分为 DRAM 存储探针卡、NAND 闪存探针卡、逻辑与先进封装探针卡、车载工业功率器件探针卡、射频毫米波高频探针卡五大主线平台,全部基于 2D MEMS、3D MicroSpring 微型弹簧两种核心探针结构区分,适配不同晶圆尺寸、凸点间距、并行测试点位与工作温区。SmartMatrix 为 DRAM/HBM 高带宽存储旗舰探针卡,采用 3D MEMS 弹簧架构,支持 300 毫米整片晶圆一次下压完成数千颗晶粒并行测试,适配 DDR5、LPDDR、HBM3 等高带宽显存量产分选,宽温区间可覆盖低温至高温老化测试工况,针数规模庞大大幅压缩单片晶圆测试时长;HFTAP K32 属于 SmartMatrix 衍生高速存储探针卡,专门面向先进封装 KGD 已知良好芯片验证,支持数 Gbps 高速信号探测,适配堆叠显存与中介层晶圆检测;Genus 是 3D NAND 闪存量产专用整片晶圆探针卡,使用 2D MEMS 探针结构,实现单次下压完成整片闪存晶圆全覆盖接触,高低温适应性优异,适配大容量闪存晶圆老化与分选;TouchMatrix 面向 NOR 闪存与传统闪存晶圆并行测试,灵活适配不同测试机台布局调整探针平面度,降低闪存芯片单颗测试成本。逻辑芯片板块,Apollo 垂直探针卡主打倒装芯片、铜柱凸点大电流测试,用于 GPU、车载主控、处理器晶圆量产;Altius 面向高端 AI 处理器、硅中介层超细密凸点超大 I/O 逻辑器件,实现超细间距高密度探针接触;TrueScale 适配传统引线键合 SoC 与通用逻辑芯片,平衡成本与探针使用寿命;Kepler 垂直探针卡主打车载功率器件、工业半导体高并行量产测试,耐受宽温车载工况,机械耐久度适配车规级长期量产需求。高频射频领域 Pyramid RF 探针卡可实现八十吉赫兹以上毫米波信号探测,用于 5G 射频前端、雷达芯片、高速光模块晶圆射频性能量产测试;QuadCard 为经济型通用混合信号探针卡,兼顾直流与射频基础测试降低研发试样成本。量产 DRAM/HBM 存储选用 SmartMatrix/HFTAP,3D NAND 闪存选用 Genus,NOR 闪存选用 TouchMatrix,高端 GPU / 倒装芯片选用 Apollo,AI 先进封装芯片选用 Altius,车规功率半导体选用 Kepler,毫米波射频芯片选用 Pyramid RF,研发试样小批量验证选用 QuadCard。




美国FormFactor公司主要产品型号如下,欢迎咨询选购:




一、晶圆量产探针卡(Probe Card)

DRAM/HBM 高带宽存储探针卡

SmartMatrix 整片晶圆并行存储探针卡

HFTAP K10 高频存储探针卡

HFTAP K16 高频存储探针卡

HFTAP K22 高频存储探针卡

HFTAP K32 HBM 高速 KGD 验证探针卡

PH 系列 模块化中小容量存储探针卡

NAND/NOR 闪存专用探针卡

Genus 3D NAND 整片晶圆量产探针卡

TouchMatrix NOR 闪存并行测试探针卡

逻辑芯片与先进封装探针卡

Apollo 倒装芯片铜柱凸点垂直探针卡

Altius 超细凸点超大 I/O 高端逻辑探针卡

TrueScale 通用引线键合 SoC 探针卡

Katana 通用逻辑量产探针卡

车载 / 工业功率器件探针卡

Kepler 车规级高并行垂直探针卡

射频毫米波探针卡

Pyramid RF 毫米波高频量产探针卡

QuadCard 经济型混合信号射频探针卡


二、实验室单点分析探针(晶圆表征探针)

宽带同轴射频探针

InfinityXT 宽带同轴射频探针

InfinityXF 250GHz 超宽带射频探针

InfinityWaveguide 太赫兹波导探针

阻抗精密测试探针

|Z| Probe 高精度阻抗探针

Multi-|Z| Probe 多通道阻抗组合探针

多触点射频探针

InfinityQuad 多触点毫米波复合探针

ACP-Q 多通道射频功能探针

Unity Probe 射频 IC 工程试样探针

直流大功率 / 参数探针

DCP100 直流参数精密探针

DCP-HTR 高温直流参数探针

DCP-X MEMS 高精度直流探针

DC Power 功率半导体超大电流探针

Eye-Pass 大功率阻抗旁路探针


三、晶圆探针台整机设备

150mm 晶圆探针台

MPS150 模块化手动探针台

MPS150-SiPh 硅光子专用手动探针台

200mm 晶圆探针台

Summit200 半自动 / 全自动高端探针台

Summit 基础手动探针台

PM8 开放式手动探针台

PA210 BlueRay 量产自动化探针台

EPS200RF 67GHz 射频手动探针台

EPS200MMW 毫米波 / 负载牵引探针台

300mm 晶圆探针台

EVOLVITY 300 半自动射频晶圆探针台

PA300 300mm 半自动量产探针台

PA300DSP 双面测试专用探针台

低温量子专用探针台

HPD IQ3000 4K 极低温全自动晶圆探针台


四、射频校准基板与测试配件

Multiline TRL 射频校准基板

阻抗标准校准基板

高低温探针台温控模块

探针台真空吸附载片台


五、测试校准软件

WinCal XE 射频 S 参数校准软件

MeasureOne 器件自动化表征测试软件


六、量子低温测试整套方案

晶圆级低温真空探针腔体

稀释制冷机配套探针系统

磁场耦合量子器件测试平台


七、配套技术服务

定制化探针卡设计与制版加工

探针卡清洁、翻新、再生维保服务

晶圆高低温探针测试方案调试

毫米波射频测试系统校准搭建

整片晶圆并行量产测试工艺优化

车规功率器件宽温可靠性验证

量子低温器件晶圆测试代工服务



其他注意事项:

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取,欢迎咨询。

我公司自营进出口权,直接海外采购,国外现货航空件几天就能交到您的手中。



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