美国Brooks Automation是全球半导体与生命科学领域自动化及污染管控解决方案龙头企业，长期深耕晶圆真空搬运、先进封装自动化、光罩传输、载具洁净管控、实验室自动化多条业务赛道，面向晶圆制造厂、半导体设备原厂、先进封装工厂、生物分析实验室提供整套自动化硬件与配套运维服务。企业依托机电、材料、热力学、视觉检测多领域综合技术积累，打造可全天候稳定运行的自动化设备体系，可根据不同制程节点、晶圆尺寸、工艺环境定制搬运与管控方案，同时搭建全球本地化服务网络，为客户提供设备调试、定期维保、工艺优化全周期支持。企业兼顾可持续生产运营理念，设备设计侧重低能耗、低颗粒物产生，产品覆盖逻辑芯片、存储芯片、化合物半导体、面板级封装、光刻光罩转运全生产环节，凭借数十年量产验证的洁净搬运技术，持续降低晶圆转运过程的颗粒污染风险，提升产线良率与整体产能。
美国Brooks Automation晶圆搬运机器人分为 MagnaTran 经典真空系列、MagnaTran LEAP 新一代直驱真空系列、PreciseFlex 大气协作搬运系列三大核心产品线，MagnaTran 经典款包含 MagnaTran 7 基础机型、MagnaTran 7.1 升级机型两款主力真空机械手，MagnaTran 7 适配八英寸标准硅晶圆与常规化合物基板，采用四轴联动龙门架构，支持径向伸缩、垂直升降、水平旋转多维度同步运动，机身内部全封闭无积尘死角结构，整机硬件选用不锈钢洁净材质，伺服系统区分粗调与精细两级位移控制，定位重复精度维持高稳定区间，可搭配单臂、双臂多种晶圆夹持臂组，同步转运多片晶圆，供电采用低压直流输入方案，适配真空腔体狭小安装空间，MagnaTran 7.1 在前者基础上优化直驱磁传动结构，内部齿轮摩擦损耗大幅降低，可兼容八英寸与十二英寸两种晶圆规格，耐高温衍生型号可适配沉积、刻蚀高温真空腔体环境，真空腔内部运行时振动幅度控制在极低水平，减少晶圆滑移、崩边风险。MagnaTran LEAP 系列为全新一代真空搬运机器人，包含 LEAP 标准集群机型、LEAP 紧凑型适配机型，全部搭载无接触直驱磁传动结构，省去传统齿轮摩擦结构，颗粒物释放量显著下降，支持臂组快速拆装更换，缩短产线停机维护时长，整机支持三百六十度连续无限制旋转，无需归位换向动作提升转运节拍，可自由切换单臂、双臂、多臂夹持模组，同步承载标准硅片、薄膜框架、超薄临时键合基板，伺服内置动态路径规划算法，根据晶圆重量自动匹配加速度与运行速度，降低高速转运时晶圆形变概率，机身体积相较前代机型缩小，适配紧凑型集群工艺设备，配套标准化通讯接口可直接对接各类真空集群平台。PreciseFlex 大气协作搬运系列包含 PreciseFlex 3400 小型轻载机型、PreciseFlex 400 标准协作机型、PreciseFlex c5、PreciseFlex c8、PreciseFlex c10 多负载规格大气机械手，全部用于设备前端大气环境晶圆转运，无需真空腔体适配，具备人机协作安全防护机制，碰撞感应触发后立刻停止运动，3400 机型轻量化机身适配小型测试设备，承载重量偏小，400 机型适配标准十二英寸 FOUP 晶圆盒转运，c5、c8、c10 依次提升最大承载重量，可搬运厚基板、载具托盘等重型物料，多轴柔性关节结构适配狭窄前端设备空间，配套视觉定位模块自动校准晶圆偏移，夹持末端采用低摩擦防静电材质，避免大气环境静电击穿晶圆薄膜层。全系真空机器人均可配套 Marathon 系列真空集群平台、EFEM 前端设备整合使用，机械臂末端夹持片分陶瓷、防静电高分子两种材质可选，针对超薄晶圆、脆性化合物基板可更换柔性缓冲夹持配件，整机支持远程程序调试与运动参数修改，不同系列机器人均搭载颗粒抑制密封结构，适配严苛先进制程洁净度要求，可根据产线真空度、温度、晶圆尺寸、转运节拍需求自由搭配对应型号与臂组配件。
美国Brooks Automation公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：
一、真空晶圆搬运机器人系列
MagnaTran 经典真空机械手
MagnaTran 7
MagnaTran 7.1
MagnaTran LEAP 新一代直驱真空机械手
MagnaTran LEAP 标准机型
MagnaTran LEAP 紧凑型机型
VACUTRAN 系列真空转运机械臂
VACUTRAN 5
湿法工艺专用晶圆机器人
WTM-511 湿法搬运机器人
二、大气洁净协作搬运机器人（PreciseFlex 系列）
PreciseFlex 100 笛卡尔协作机器人
PreciseFlex 3400 轻载协作机器人
PreciseFlex 400 标准协作机器人
PreciseFlex c5 协作机械臂
PreciseFlex c8A 六轴协作机械臂
PreciseFlex c10 重载协作机械臂
PAVP6 六轴洁净机械手
三、晶圆前端设备（LoadPort/EFEM）
晶圆装载端口 LoadPort
FixLoad 5
FixLoad 6M
SMIFLoad 200mm 端口
EFEM 晶圆前端整合设备
Fab Express EFEM
Marathon LEAP AX EFEM 平台
晶圆分选平台
Marathon Sorter
Marathon LEAP SX 分选平台
四、真空集群工艺平台
Marathon Express MX600 真空集群平台
Marathon Express MX700 真空集群平台
Marathon Express MX800 真空集群平台
Gemini Express 真空集群平台
InLine Express 线性真空平台
五、载具洁净与颗粒管控设备
FOUP 晶圆盒清洗检测设备
FOUP Cleaner 晶圆盒清洗机
PuroView 载具检测设备
PuroVision AMC 环境检测系统
PuroMetric 颗粒监测模块
PuroSense 气体污染物传感器
光刻光罩管控设备
GuardianPro 光罩存储机柜
PuroMaxx 光罩交换及 EUV 载具清洗设备
六、工厂自动化与视觉定位组件
Vision LEAP 视觉定位系统
SMIF VersaPort 对接端口
AutoID 晶圆载具 RFID 追溯系统
晶圆预对准器 Prealigner
机器人手持示教器 TT1ENR2 系列
七、生命科学实验室自动化设备
PathFinder 350A 样本处理工作站
PathFinder 450S 样本分选设备
AIM 自动进样器
八、机器人控制器与配套备件
Series 8 机器人控制器
机器人末端陶瓷晶圆夹爪
防静电高分子夹持配件
其他注意事项：
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。
我公司自营进出口权，直接海外采购，国外现货航空件几天就能交到您的手中。
