法国 Air Liquide Electronics总部坐落于法国，是全球领先的工业与电子特种气体综合服务商，业务覆盖半导体、光伏、平板显示、医疗健康、新能源氢能、通用化工等多元赛道，旗下电子材料板块专门面向高端微电子制造打造全套高纯气体、金属前驱体与配套供气系统。企业在全球多地布局专用提纯工厂与现场制气站点，自主搭建严苛的气体杂质管控体系，可根据芯片、面板产线的制程需求定制不同纯度等级的特种气体，同时配套气体纯化设备、智能供气柜、在线杂质监测装置与全流程安全运维服务，持续研发适配先进制程的低环境影响蚀刻气体，依靠成熟的批量储运、钢瓶集装与管道现场供气方案，为全球电子制造工厂提供稳定合规的工艺气体保障。
液化空气三氟化氮产品线按照纯度等级划分为工业通用级、电子基础级、超高纯电子专用级三大主线，工业通用款仅适配普通化工腔体清洗场景，杂质管控标准宽松，采用常规碳钢气瓶封装，适合对器件洁净度无严苛要求的基础工况；电子基础级包含 EG2 规格，本体纯度满足常规显示面板与成熟存储芯片的腔体清洁需求，严格控制水分、氟化物酸根、碳氢杂质含量，搭配标准不锈钢瓶阀，提供多种容积独立钢瓶可选；超高纯电子级包含 EG1 高端型号，专为先进逻辑芯片、高端存储、微型显示面板打造，大幅降低微量氧、氮、一氧化碳、二氧化碳等痕量杂质的残留水平，瓶体内壁经过高精度抛光钝化处理，搭配无析出不锈钢专用阀门，规避输送过程中的二次污染，产品线配套多种交付形态，小容积便携钢瓶适配实验室工艺研发，中等容积标准钢瓶用于中小型量产产线，大容积集装管束与液态槽车供气方案服务大型晶圆工厂连续化生产，不同等级产品均具备稳定的蚀刻清洁能力，能够高效清除化学气相沉积、原子层沉积设备腔体内的硅基副产物，工艺人员可以结合产线制程节点、器件洁净度标准、日均气体消耗量选择对应纯度与包装规格的三氟化氮产品，广泛应用半导体晶圆设备腔体清洗、液晶与 OLED 面板制程清洁、光伏电池镀膜设备维护等电子制造工序。
法国 Air Liquide Electronics公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：
一、ALOHA™系列 ALD/CVD 高端沉积前驱体
ZyALD™氧化锆高 k 介质前驱体
TSA 硅基前驱体
HCDS 六氯二硅烷
SAM.24™硅烷类钝化前驱体
金属栅极高 k 薄膜前驱体
3D NAND 沟槽填充硅前驱体
二、Subleem™固态金属卤化物前驱体
MoCl5 五氯化钼
MoO2Cl2 二氯二氧化钼
AlCl3 三氯化铝
HfCl4 四氯化铪
WCl5 五氯化钨
WCl6 六氯化钨
WOCl4 氧氯化钨
TaCl5 五氯化钽
NbCl5 五氯化铌
ZrCl4 四氯化锆
三、Voltaix™硅锗高纯特种电子气体
乙硅烷 Si2H6
丙硅烷 Si3H8
锗烷 GeH4
乙硼烷 B2H6 掺杂气体
高纯磷烷、砷烷掺杂源
四、enScribe™半导体蚀刻特种气体
高选择比氟系蚀刻混合气
金属栅极干法蚀刻特种气体
3D 架构高深宽比蚀刻混合气
原子层蚀刻专用反应气体
五、超高纯大宗电子气体（半导体晶圆厂）
超高纯氮气 UHP N2
超高纯氢气 UHP H2
超高纯氦气 UHP He
超高纯氩气 UHP Ar
超高纯氧气 UHP O2
一氧化二氮 N2O
氯化氢 HCl
硅烷 SiH4
氨气 NH3
六、特种工艺混合气（定制配比）
晶圆退火成型混合气
离子注入掺杂混合气
晶圆钝化保护混合气
光刻胶剥离工艺混合气
七、特种气体输送柜及管路分配设备
FabStream 系列全自动供气设备
FabStream 钢瓶特种气体柜
FabStream All Vapor 液相汽化输送系统
FabStream 大宗气体集中输送系统
SaFlow 经济型供气柜
SaFlow 钢瓶气体控制柜
SaFlow HI 槽罐 / 集装瓶供气单元
液态前驱体输送设备
CANDI™液态化学前驱体输送装置
OVC™固态前驱体升华输送系统
SSS 大流量固态升华供气模组
八、高纯化学品配送系统
ChemFlex 通用酸碱有机溶剂分配平台
ChemFlex CMP 研磨液配比输送系统
ChemPrep 高纯化学品精准配比装置
九、ULTRAL™系列超纯气体纯化器
ULTRAL H2/He 低温纯化器
ULTRAL LN2 液氮纯化器
ULTRAL LAr 液氩纯化器
ULTRAL VPE 吸附式纯化模组
ULTRAL UOP 催化吸附纯化模组
ULTRAL URT 吸气剂纯化模组
ULTRAL JLS 钯膜纯化模组
JPC 商用纯化器
十、气体在线分析与品质监控系统
CQC™在线气体杂质连续监测系统
APIX™ ppt 级超高纯气体管网验证分析仪
微量氧痕量水在线分析仪
杂质多组分在线质谱检测仪
十一、尾气处理环保设备
DETOXAL™半导体工艺废气处理装置
十二、Nexelia™电子焊接保护气整体方案
Nexelia 波峰焊氮气惰性保护系统
Nexelia 回流焊氮气氛围模组
Nexelia ALIX INERT-WAVE 波峰焊配套设备
十三、光伏 / 面板专用电子材料与配套
薄膜光伏沉积特种气源
LCD/OLED 面板制程高纯保护气
面板刻蚀专用工艺气体
其他注意事项：
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。
我公司自营进出口权，直接海外采购，国外现货航空件几天就能交到您的手中。
