法国 Air Liquide Electronics 隶属于法国液化空气集团，是面向半导体、显示面板、光伏行业的高端电子材料业务板块，依托全球布局的生产基地、纯化技术与现场供气服务体系，专注超高纯度电子气体、半导体前驱体材料的研发、提纯与供应。企业深耕芯片制造全流程工艺需求，配套完整的气体输送、纯化、监控设备以及工艺技术支持，持续开发适配先进制程的环保型蚀刻气体与薄膜沉积原料，能够为晶圆工厂提供现场制气、大宗液态供气、钢瓶与便携容器供气等多元交付方案，兼顾材料纯度管控、安全生产与长期稳定供货，为逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、光电器件制造提供核心工艺材料支撑。
液化空气电子特气产品分为超高纯度载气、工艺特种气体、薄膜沉积前驱体、创新环保蚀刻气体四大主线，自有 Voltaix、enScribe、ALOHA 等成熟产品品牌，超高纯度载气包含电子级氮气、氩气、氧气、氢气、氦气等品类，按照纯度等级划分通用量产规格与先进制程超纯规格，杂质含量控制水平满足前沿晶圆制造严苛要求，既可以通过管道大宗输送，也支持现场制气装置持续供给；工艺特种气体涵盖氨、硅烷、氟化钨、三氟化氮、氯化氢、溴化氢等常用蚀刻与成膜原料，区分钢瓶封装、液态大宗供应两种形态，配套稳定的杂质管控方案，适配刻蚀、薄膜生长、离子注入、腔体清洗等工序；Voltaix 系列属于硅基、锗基、硼基高端沉积前驱体，包含乙硅烷、锗烷、乙硼烷等特种气体，多用于原子层沉积与化学气相沉积工艺，适配存储芯片与先进逻辑器件的沟道薄膜制备；enScribe 系列为新一代低温室效应蚀刻气体，针对先进制程精细图形蚀刻场景开发，在保障蚀刻剖面精度的同时降低环境影响；ALOHA 系列提供定制混合工艺气体，可根据客户工艺配比精准调配组分浓度，整套产品能够搭配企业配套的纯化装置、供气柜、在线监测系统使用，工程师可以根据制程节点、工艺类型、工厂供气规模选择对应纯度等级与交付形式的气体产品，广泛应用于半导体晶圆制造、显示面板生产、光伏电池制备等各类电子制造场景。
法国 Air Liquide Electronics公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：
一、超高纯度电子载气
电子级超纯氮气
电子级超纯氩气
电子级超纯氧气
电子级超纯氢气
电子级超纯氦气
电子级二氧化碳
二、通用工艺特种电子气体
硅烷
乙硅烷
氨气
六氟化钨
三氟化氮
氯化氢
溴化氢
一氧化二氮
氟化氢
四氟化碳
六氟乙烷
三、Voltaix™沉积前驱体特气
锗烷
乙硼烷
甲基硅烷系列
三氯硅烷
四、enScribe™环保蚀刻特种气体
新型低 GWP 氟化蚀刻气体系列
高选择性碳氟蚀刻混合气
五、ALOHA™定制混合工艺气体
薄膜沉积定制混合气
光刻准分子激光混合气
离子注入掺杂混合气
六、固态前驱体配套供气原料
五氯化钼
二氯二氧化钼
各类金属卤化物半导体原料
七、配套供气与纯化设备
ULTRAL 系列气体纯化装置
TCN 现场高纯氮气制备机组
特种气体供气柜、管路调压组件
气体杂质在线监测系统
OVC 固态前驱体升华输送系统
八、配套技术服务方案
晶圆厂现场制气总包方案
特种气体安全配送管理方案
气体纯度持续优化工艺支持
其他注意事项：
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。
我公司自营进出口权，直接海外采购，国外现货航空件几天就能交到您的手中。
