

美国 Dow是源自美国的全球化材料科学企业,深耕化工与先进电子材料领域多年,依托高分子材料核心研发能力,面向半导体、工业制造、涂料、包装等众多行业提供各类高性能材料产品与配套技术方案。企业在全球多地布局研发中心与生产基地,具备完善的规模化量产与技术服务能力,在半导体化学机械抛光耗材赛道拥有深厚技术积累,持续针对芯片制程迭代开发适配的抛光垫、抛光液产品,深度服务八英寸与十二英寸晶圆产线,兼顾成熟工艺与先进制程的平坦化需求,能够配合晶圆制造企业优化抛光工艺,降低晶圆表面缺陷,提升生产良率,同时持续根据产业发展趋势改良材料配方与结构设计,为半导体制造提供稳定可靠的耗材解决方案。
美国 Dow化学机械抛光垫拥有多条成熟产品系列,IC1000 属于经典硬质抛光垫,长期作为行业基准产品,适配硅氧化物、钨金属等多种基础平坦化工序,孔隙结构稳定,抛光去除速率均衡,通用性强;VISIONPAD5200 抛光垫拥有更高孔隙率,能够提升钨、铜相关工艺的材料去除效率,减少抛光液消耗,同时改善晶圆表面碟形与侵蚀问题,VISIONPAD6000 偏向低缺陷应用场景,依靠优化的高分子结构降低微划痕产生概率,适合对表面平整度要求严苛的介质层抛光工序;OPTIVISION 系列属于软性抛光垫,其中 OPTIVISION4540 采用双孔隙结构,多用于铜阻挡层抛光,抛光全程性能稳定,能够有效抑制震动缺陷,延长抛光垫使用寿命;IKONIC 平台包含多条细分型号,IKONIC2000 系列属于低硬度抛光垫,适配铜阻挡层以及抛光后修整工序,抛光缺陷控制表现优异,IKONIC3000 系列为中等硬度规格,主要用于铜主体抛光,优化晶圆形貌控制能力,IKONIC4000 系列面向铈基抛光场景,在抛光垫全生命周期内维持稳定去除速率,大幅降低成品缺陷,此外还有 POLITEX 软性抛光垫,多用于最终抛光修整工序,进一步优化晶圆表面粗糙度,全部抛光垫均可按照产线设备规格定制尺寸、沟槽样式,适配主流抛光设备,覆盖浅沟槽隔离、铜互连、钨互连、介质层平坦化等晶圆制造各类 CMP 工序,可根据工艺节点、抛光浆料类型搭配对应型号实现工艺匹配。
美国 Dow公司主要产品型号如下,欢迎咨询选购:
一、半导体 CMP 化学机械抛光垫
IC1000
VISIONPAD5200
VISIONPAD6000
OPTIVISION4540
IKONIC2000 系列
IKONIC3000 系列
IKONIC4000 系列
POLITEX
二、CMP 抛光液
ACuPLAN5100
Novaplane 系列
Optiplane 系列
Acuplane 系列
Klebosol 系列
三、半导体封装有机硅材料
DOWSIL ME-1603
DOWSIL EG-4175
DOWSIL EG-4180AS
DOWSIL EA-7158
DOWSIL EA-3939
DOWSIL SE 1700
四、导热界面材料
DOWSIL TC-3015
DOWSIL TC-3035
DOWSIL TC-3065
DOWSIL TC-3080
DOWSIL TC-4060
DOWSIL TC-5026
DOWSIL TC-5550
五、电子级溶剂与表面活性剂
DOWANOL DPnB
DOWANOL TPnB
TRITON X-100
TERGITOL 15-S-9
DOWFAX 2A1
六、半导体配套清洗化学品
TRITON HW-1000
TRITON RW-150
TRITON CF-10
TRITON CF-21
TRITON CF-32
其他注意事项:
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取,欢迎咨询。
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