芬兰 Vaisala是源自芬兰的精密测量解决方案企业，长期专注于传感测量技术研发与设备制造，依靠自主研发的核心传感技术，面向多个高端工业领域提供环境与工艺测量仪器、监测系统以及配套服务。企业业务遍布全球各地，深度参与半导体、洁净制造、气象监测、生物医药等行业，尤其熟悉晶圆制造这类对环境条件有着极致要求的生产场景。公司能够提供温湿度、露点、气压、气体纯度、化学药液浓度等多类型参数监测设备，产品兼顾长期测量稳定性与快速响应能力，可直接集成至各类晶圆工艺设备与洁净厂房，持续帮助生产企业管控环境波动，减少工艺缺陷，同时配套完整监测软件平台，实现测量数据统一采集、追踪与告警，多年来持续根据半导体制造工艺迭代更新产品方案，是全球晶圆工厂广泛选用的测量设备供应商。
芬兰 Vaisala面向晶圆制造打造的晶圆级环境监测整套方案依托模块化 Indigo 信号处理单元搭配各类专用测量探头组成核心硬件，同时搭配 viewLinc 持续监测软件实现整套系统运转，核心硬件包含 Indigo520 模块化变送器作为系统中枢，可灵活接入不同功能探头，适配晶圆光刻机、探针台、切割设备、洁净腔体内部监测需求；配套 HMP3 紧凑型温湿度探头适合狭小机台腔体安装，拆装便捷，便于洁净室维护；HMP9 高性能温湿度探头自带化学净化功能，能够耐受晶圆湿法工艺周边腐蚀性环境；DMT143 微型露点变送器体积小巧，多用于晶圆测试腔体超低露点监测，防止晶圆表面结露结冰；DMT152 超低温露点探头面向极干燥工艺气体环境，适配高低温晶圆测试工序；PTU300 一体化气压温湿度变送器主要用于光刻设备环境补偿，实时捕捉气压波动保障光学成像精度；PDT101 与 PDT102 压差探头负责洁净室与工艺腔体压差监测，维持无尘环境稳定；除此之外系统可接入 PR53S、PR-33-S 在线折光仪同步监测晶圆湿法清洗、蚀刻工序药液浓度，整套监测系统支持数字与模拟信号输出，能够对接工厂自动化系统，硬件防护规格适配洁净车间使用标准，软件端支持历史数据存储、超限报警、合规报表生成，方案可以根据十二英寸、八英寸晶圆产线不同工艺站点灵活增减监测点位，既能满足新建晶圆产线整体部署，也可以针对现有设备进行改造加装，完整覆盖晶圆光刻、薄膜沉积、清洗、电学测试、切割封装全流程环境管控需求。
芬兰 Vaisala公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：
一、晶圆级环境监测模块化主机（Indigo 系列）
Indigo200
Indigo201
Indigo520
二、温湿度测量探头
HMP1
HMP3
HMP4
HMP5
HMP7
HMP8
HMP9
TMP1
三、露点变送器 / 露点探头
DMT143
DMT143L
DMT152
DMT153
DMP5
DMP6
DMP7
DMP8
四、气压与压差测量设备
PTU300
PTB210
PTB330
PDT101
PDT102
五、气体监测探头
GMP251
GMP252
HPP271
HPP272
六、化学品浓度监测设备
PR-23-MS 在线折光仪
七、独立式温湿度变送器
HMT310
HMT330
HMT370EX
八、便携式检测仪表
HM40
九、监测配套软件
viewLinc 监测软件
Insight PC 配置软件
其他注意事项：
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。
我公司自营进出口权，直接海外采购，国外现货航空件几天就能交到您的手中。
