美国 Veeco 是总部设立在美国纽约州的全球领先精密仪器与半导体工艺设备制造商，作为纳斯达克上市企业，企业长期专注于半导体及化合物半导体制造、数据存储与科学研究领域的核心设备研发与生产，在先进封装、光子学、电力电子和显示技术等前沿赛道拥有深厚技术积累。企业核心技术覆盖激光退火、离子束沉积与刻蚀、化学气相沉积、金属有机化学气相沉积、单晶圆刻蚀与清洗、光刻等多个关键工艺领域，产品设计始终以优化器件性能、提升良率和降低拥有成本为核心目标，凭借领先技术优势稳固行业地位。企业发展历程中不断通过技术创新与战略整合拓展业务版图，打造出适配不同应用场景的多元化设备解决方案，能够满足全球客户从研发到量产的全流程需求，为 5G 通信、人工智能、自动驾驶、数据中心等新兴产业提供关键设备支撑。企业坚持以技术驱动发展，注重与产业链上下游企业深度合作，通过持续优化产品性能与服务体系，助力客户提升生产效率与市场竞争力。

Veeco 旗下金属有机化学气相沉积设备主要分为 TurboDisc、Propel 和 Lumina 三大核心系列，每个系列均针对不同应用场景与生产需求提供差异化解决方案，其中 TurboDisc 系列包含 EPIK 700、EPIK 868 和 MaxBright 等型号，EPIK 700 配备一至两个反应器配置，搭载专利 IsoFlange 中心注入流技术与 TruHeat 晶圆线圈，可实现整个晶圆载具上的均匀层流与温度分布，保障出色的波长均匀性以提升良率，支持多种晶圆尺寸组合，能轻松转移现有 TurboDisc 系统工艺，适配高质量 LED 量产需求；EPIK 868 采用四反应器配置，同样运用 IsoFlange 与 TruHeat 核心技术，结合 TurboDisc 技术实现高系统可用性与运行时间，大容量载具适配多尺寸晶圆，特别适合微型与迷你 LED 的大规模生产；MaxBright 基于成熟的 K465i 平台升级，采用封闭循环热控技术，具备更大晶圆生产能力，配方可无缝转移，适配多种晶圆规格组合，兼顾均匀性、重复性与材料质量。Propel 系列聚焦氮化镓基器件制造，涵盖 Propel 研发型、Propel HVM GaN 和 Propel 300mm 等型号，研发型采用单晶圆反应器平台，无需硬件修改即可处理多种尺寸晶圆与不同类型衬底，适配硅、蓝宝石和碳化硅等材料，满足灵活的研发需求；Propel HVM GaN 作为高容量制造单晶圆反应器集群系统，支持 150 和 200 毫米晶圆，能高效生产高质量氮化镓基功率、射频和光子器件；Propel 300mm 是业内成熟的 300 毫米全自动单晶圆集群系统，可在 300 毫米衬底上生产 5G 射频、光子和先进互补金属氧化物半导体器件，具备卓越的均匀性、重复性和良率。Lumina 系列包括 Lumina 和 Lumina + 型号，该系列拥有业内最大的砷化镓 / 磷化铟批量处理能力，具备行业领先的吞吐量、最低的单位晶圆成本以及出色的均匀性与重复性，适配砷化镓 / 磷化铟工艺，适合磷化铟激光器等光通信器件的大规模生产，Lumina + 作为升级型号进一步提升了产能扩展性与工艺效率，能快速完成产品认证，满足高端光电器件量产需求。所有 MOCVD 设备均融合 Veeco 核心技术优势，可根据客户具体应用场景提供定制化配置，助力客户在化合物半导体制造领域实现高效生产与技术突破。

美国 Veeco公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：

一、金属有机化学气相沉积 (MOCVD) 设备

TurboDisc 系列

TurboDisc EPIK 700

TurboDisc EPIK 868

TurboDisc MaxBright

TurboDisc K465i

TurboDisc K475i As/P

TurboDisc Enterprise 300 II

Propel 系列

Propel 研发型

Propel HVM GaN

Propel 300mm

Propel Power

Lumina 系列

Lumina

Lumina+

二、分子束外延 (MBE) 系统

GENxplor™

GEN20-Q™

GEN20™

GEN200®

GEN2000®

三、离子束沉积 (IBD) 系统

Spector® IBD

四、先进湿法处理系统

WaferStorm® 溶剂清洗系统

WaferEtch® 单晶圆刻蚀系统

五、光刻系统

AP200™

AP300™

Ultratech AP200/300

六、激光处理系统

激光尖峰退火系统

3D 封装激光处理系统

七、原子力显微镜 / 扫描探针显微镜

DEKTAK XT

DEKTAK

T-AFM 教学型原子力显微镜

CSPM4000 扫描探针显微镜系统

CSPM5500 扫描探针显微镜

FM-Nanoview6800AFM

Nanoview6600AFM

FM-Nanoview1000AFM

BY 系列扫描探针显微镜

NANOVISUAL 教学型扫描隧道显微镜

八、物理气相沉积 (PVD) 系统

旋转阴极溅射薄膜系统

九、其他设备

切割与研磨系统

气体与蒸汽输送系统

精密表面处理 (PSP) 设备  

其他注意事项：

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。

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