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日本 Fujikin公司及气体分配系统
2026-05-27
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日本Fujikin创立于大阪,是全球顶尖的精密流体控制设备制造商,长期深耕高纯气体与液体控制领域,在半导体、光伏、制药等高端制程中占据核心地位。公司自早年起步,从基础阀门制造逐步拓展至集成化气体分配系统,凭借极致的精密加工与洁净制造技术,成为行业标杆。其核心优势在于纳米级流量控制、超高洁净度处理与严格的零泄漏标准,所有高纯产品均在高等级洁净室完成组装与测试,能有效避免颗粒物与杂质污染。历经多年发展,Fujikin构建了从精密阀门、流量控制器到完整气体分配系统的全链条能力,产品广泛应用于全球先进制程芯片生产线,同时在海外多地设立生产与服务据点,以高可靠性、长寿命的产品特性和专业技术服务,赢得全球高端流体控制市场的高度认可。

Fujikin气体分配系统包含FCSP7000W系列、FCSP8000系列、FCS-T1500F系列、FCS-T1200MF-HT系列、1.125W系列、UPCUS系列及PUN-913P-6.35等核心型号,其中FCSP7000W系列为超小型高精度流量控制系统,整体轻薄紧凑,宽度仅十毫米,采用不锈钢材质,适配各类高纯气体,流量控制范围覆盖标准低流量区间,具备流量自我诊断功能,响应速度快,不受安装姿态影响,可在供压波动时稳定控制流量,符合环保指令要求。FCSP8000系列为集成式高纯气体控制单元,阀体采用316L不锈钢、超铁素体合金或镍钴合金,适配腐蚀性及特殊气体,最高工作压力可达0.89兆帕,工作温度范围适配常规工业场景,可实现微量精准调节,集成多种控制功能便于系统整合。FCS-T1500F系列为标准型质量流量控制器,采用不锈钢材质,最高工作压力0.7兆帕,工作温度覆盖常规区间,支持气体流量的细微调节,适配多数高纯气体分配场景。FCS-T1200MF-HT系列为高温型质量流量控制器,材质耐高温,最高工作温度达80摄氏度,最低适配50摄氏度高温工况,压力耐受0.7兆帕,可在高温环境下稳定实现气体流量微调。1.125W系列为基础型集成气体系统,采用专用密封结构,分离受力部件与密封部件,提升密封性与维护便捷性,适配常规高纯气体分配,兼顾性能与成本。UPCUS系列为自动压力控制器,可自动调节气体压力,维持输出压力稳定,适配气体分配系统的压力稳定环节,保障后端设备压力恒定。PUN-913P-6.35为高纯气体隔膜式微调阀,阀体采用316不锈钢精锻,接口适配高纯气管路,流量控制精度高,可多圈精细调节并带开度锁定,最高耐压达13.7兆帕,适配半导体等高纯高压气体分配场景。



日本Fujikin公司主要产品型号如下,欢迎咨询选购:



一、高纯阀门系列

膜片阀

- MEGA系列

- New MEGA VE系列

- NFUND系列

- NFPR系列

- FUNDLTB系列


波纹管阀

- FUBFL系列

- FUDF系列

- HFC系列


手动球阀

- FUBV-915系列

- VUBV-920系列

- VUBV-941系列


针阀

- C3系列

- S1R-13系列

- VUH-941系列

- VUN-934系列


二、气体分配与流量控制

质量流量控制器(MFC)

- FCS-G200系列

- FCS-T1000Z系列

- FCS-T1000L系列

- FCSP7000W系列

- FCSP8000系列

- FCS-T1500F系列

- FCS-T1200MF-HT系列


压力控制器

- PCS-T1000F系列

- UPCUS系列


气体分配单元

- 1.125W系列

- PUN-913P-6.35


三、精密陶瓷阀门

陶瓷球阀

- 全系列陶瓷球阀(pH 0~14适用)


陶瓷控制阀

- 高磨损浆料专用阀

- 强腐蚀性液体调节阀


四、大口径/特种阀门(Carten子品牌)

波纹管阀

- HFC系列(低温零泄漏)


膜片阀

- SPDS系列


球阀

- CBV系列


五、泵/压缩机与动力单元

- JHP-500WG(气体用)

- JHP-1000-5M(液体用)


六、管路配件

接头

- UJR系列

- KL1Z7000系列


过滤器

- 高纯气体过滤器系列

- 液体精密过滤器系列



其他注意事项:

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取,欢迎咨询。

我公司自营进出口权,直接海外采购,国外现货航空件几天就能交到您的手中。


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