Sentaurus半导体工艺仿真软件核心包含Sentaurus Process、Taurus TSUPREM-4、Sentaurus Topography 3D、Sentaurus Lithography等产品，其中Sentaurus Process作为核心的一维二维三维工艺仿真器，搭载经设备厂商数据校准的先进工艺模型，可模拟离子注入、扩散、氧化、沉积、刻蚀等全流程晶圆制造工序，适配纳米级CMOS、FinFET、GAA等先进逻辑制程及高压功率器件、存储芯片等各类技术场景，具备精准的掺杂分布预测与复杂结构生成能力。Taurus TSUPREM-4是经典的一维二维工艺仿真工具，以高效稳定的数值算法见长，专注于硅基工艺的基础仿真与长期量产工艺校准，适配成熟制程的快速迭代与参数优化。Sentaurus Topography 3D专注于三维形貌仿真，可精准模拟刻蚀、沉积过程中的表面演化与图形转移，保障高深宽比结构的尺寸精度与形貌一致性，适用于先进节点的多重图形化与三维堆叠工艺。Sentaurus Lithography聚焦光刻工艺仿真，集成光学曝光、光刻胶化学反应与显影过程模型，可预测光刻图形轮廓与工艺窗口，优化掩模设计与曝光参数，助力先进制程光刻良率提升。整套软件支持硅及化合物半导体材料体系，各工具可无缝协同构建完整仿真流程，搭配Sentaurus Structure Editor实现结构编辑与工艺仿真联动，具备强大的并行计算能力与自动化校准功能，可满足先进制程从研发到量产的全阶段仿真需求。
美国Synopsys Sentaurus公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：
一、半导体工艺仿真（Process Simulation）
- Sentaurus Process
- Taurus TSUPREM-4
- Sentaurus Topography 3D
- Sentaurus Lithography
二、半导体器件仿真（Device Simulation）
- Sentaurus Device
- Taurus Medici
三、结构编辑与可视化（Structure & Visualization）
- Sentaurus Structure Editor
- Sentaurus Workbench
- Sentaurus Visual
四、原子级与材料仿真（Atomic & Material）
- QuantumATK
- Sentaurus Materials Workbench
五、模型校准与工艺优化（Calibration & Optimization）
- Sentaurus Calibration Workbench
六、互连与可靠性仿真（Interconnect & Reliability）
- Sentaurus Interconnect
其他注意事项：
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。
我公司自营进出口权，直接海外采购，国外现货航空件几天就能交到您的手中。
