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日本 Fujikin公司及半导体设备组件
2026-05-17
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日本Fujikin是全球顶尖的超精密流体制控设备制造企业,深耕高纯流体控制领域多年,凭借严苛的洁净制造标准与顶尖的精密加工技术,在半导体、航天、新能源等高端行业具备极强的行业影响力,企业以超高纯阀门、气体流量控制器、特种接头管件为核心产品,依托顶级等级的超净车间完成零部件生产、组装与检测,可最大程度杜绝微粒与油污污染,精准适配半导体制造中特种气体、高纯介质的输送管控需求,同时产品覆盖航天燃料控制、深海装备流体部件等极限工况领域,依靠稳定可靠的品质、完善的全球服务体系,长期为全球半导体厂商提供高纯流体配套解决方案,深度支撑先进制程芯片的生产与良率提升。

该企业半导体设备组件主要包含超高纯隔膜阀、气体质量流量控制器、VCR高纯接头管件、气体过滤组件、压力监测部件等品类,其中超高纯隔膜阀涵盖UP系列、UJP系列等主流型号,阀体采用电解抛光的316L不锈钢材质,搭配耐腐蚀特种密封件,可耐受各类腐蚀性特种气体,具备零泄漏、微粒生成少的特点;气体质量流量控制器以FCST1000系列、FCST1150系列为主,采用热式检测原理,流量控制精度高、响应速度快,适配半导体刻蚀、沉积工艺中不同量程的气体调控,可兼容三氟化氮、三氯化硼等高危腐蚀气体;高纯VCR接头与垫片包含对应不同管径的专用型号,表面经过高精度抛光处理,耐压性能优异,保障管路连接的密封性与洁净度;配套的气体过滤器、压力传感器组件同样采用高纯耐腐蚀材质,整体组件全部适配半导体机台严苛的洁净环境,可实现气体输送、流量调节、压力监控的一体化配套,满足先进制程半导体设备的流体系统搭建需求。



日本Fujikin公司主要产品型号如下,欢迎咨询选购:



一、超高纯阀门类

1. UP系列隔膜阀

2. UJP系列隔膜阀

3. New Mega系列膜片阀

4. Mega系列膜片阀

5. FPR‑SDA系列气动隔膜阀

6. COSMIX精密陶瓷球阀

7. VUBV系列高纯球阀


二、气体流量控制设备类

1. FCST1000系列质量流量控制器

2. FCST2000系列质量流量控制器

3. FCSP7000系列压力式流量控制器

4. FCSP8000系列压力式流量控制器


三、高纯管件接头类

1. UPG系列卡套接头

2. UJR系列VCR接头

3. V‑lok系列卡套接头

4. F900系列高纯管件

5. UJR‑6.35G系列VCR垫片


四、气体过滤组件类

1. FUFL‑715系列气体过滤器

2. FUFL‑915系列精密过滤器

3. 半导体特气专用过滤单元


五、压力监测与辅助组件类

1. LPS系列压力传感器

2. 高纯压力调节阀

3. 高温密封组件

4. 流体静态混合器



其他注意事项:

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取,欢迎咨询。

我公司自营进出口权,直接海外采购,国外现货航空件几天就能交到您的手中。



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