

美国Veeco是全球知名的半导体与化合物半导体工艺设备及精密量测仪器制造企业,总部坐落于美国纽约州,拥有数十年行业技术积淀,业务深度覆盖第三代半导体、光电子、先进封装、数据存储等核心领域,核心技术聚焦金属有机化学气相沉积、分子束外延、离子束加工、激光退火等关键工艺,在LED外延、功率半导体、光通信芯片制造所需的MOCVD设备领域长期占据全球领先地位,产品与技术服务遍布全球主要半导体产业区域,能够为各类芯片制造企业提供设备、耗材及配套工艺方案,凭借严苛的制造标准、稳定的设备性能与完善的全球服务网络,助力客户实现先进半导体器件的规模化生产与良率提升,持续推动化合物半导体产业的技术迭代与产业化发展。
该企业MOCVD设备耗材以适配旗下主流外延设备机型为核心,主要包含碳化硅涂层石墨基座、高纯石墨托盘、晶圆承载盘、气体喷淋头、密封环、保温隔热件等核心品类,其中石墨基座涵盖适配K465i、K475i、Propel等设备的专用型号,采用超高纯度等静压石墨基材搭配致密碳化硅涂层打造,具备优异的导热性、高温稳定性与耐化学腐蚀能力,可保障外延生长过程中温度均匀可控,晶圆承载盘分多槽位规格,适配蓝宝石、碳化硅等不同衬底的外延工艺,气体喷淋头采用高精度加工工艺,可实现反应气体均匀输送,各类密封耗材选用耐高温耐腐蚀特种材质,适配MOCVD腔体高温高压工作环境,整体耗材均经过精密加工与洁净处理,能够匹配设备的精密工艺要求,有效保障外延薄膜生长质量,延长设备稳定运行周期。
美国Veeco公司主要产品型号如下,欢迎咨询选购:
一、MOCVD外延沉积设备类
1. Propel 300mm
2. Propel HVM
3. EPIK 700
4. EPIK 868
5. Lumina系列
6. TurboDisc Enterprise 300 II
二、精密量测仪器类
1. DEKTAK XT
2. DEKTAK 150
3. DEKTAK 8
4. CSPM5500
5. Contour GT‑K
6. XRF 4200
三、离子束与薄膜沉积设备类
1. IBD 350
2. NEXUS IBE 350I
3. RF‑350 C2 IBD
4. RF‑351 C2 IBE
5. Savannah ALD系列
四、晶圆湿法工艺设备类
1. WaferStorm系列
2. WaferEtch系列
五、MOCVD配套耗材类
1. K465i专用碳化硅涂层石墨基座
2. K475i专用晶圆承载盘
3. Propel系列气体喷淋头
4. 高温密封环
5. 高纯石墨隔热组件
其他注意事项:
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取,欢迎咨询。
我公司自营进出口权,直接海外采购,国外现货航空件几天就能交到您的手中。