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美国 Veeco公司及MOCVD设备
2026-05-07
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美国Veeco是一家总部位于美国的全球顶尖半导体工艺设备创新企业,专注为集成电路、化合物半导体、晶圆级封装等领域提供全面的工艺设备与技术服务,依托数十年的材料科学积淀与工艺研发积累,打造了激光退火、离子束沉积与刻蚀、化学气相沉积、金属有机化学气相沉积、单晶片刻蚀清洗、光刻等多元化先进技术体系,产品覆盖半导体制造、化合物半导体、数据存储、科研应用等核心板块,可支撑芯片前端制程、先进封装、极紫外光掩模制备、三维器件架构搭建等关键生产环节,助力突破纳米器件与高端先进封装的生产瓶颈,同时为5G与6G通信、光电子器件、功率半导体、电动汽车、人工智能、量子计算、物联网等前沿科技领域提供核心装备支持,公司坚守安全、尊重、持续改进、责任、多元包容的核心价值观,以深度协同创新破解各类复杂材料工艺难题,是全球半导体产业链中值得信赖的长期合作伙伴。

 美国Veeco公司的MOCVD设备系列均搭载自研的TurboDisc核心反应器技术,形成了覆盖研发与量产的完整产品矩阵,EPIK系列面向LED与微型LED大规模量产,通过专属的气流控制与温控技术实现出色的薄膜均匀性、低缺陷密度与高生产效率,适配多种晶圆尺寸且支持现有工艺快速迁移,Propel系列主打单晶圆模式的材料研发与小批量生产,采用模块化设计、操作简便灵活,可适配硅、蓝宝石、碳化硅等不同衬底与多种晶圆规格,长期运行稳定性与工艺重复性优异,Lumina系列专门针对砷磷基材料与高端光电子器件量产打造,薄膜厚度与组分控制精准,能满足激光器件、三维传感等产品的高标准外延要求,K系列则是经过市场验证的成熟量产平台,自动化水平高、运维成本低,可持续为高亮LED等产品提供稳定的高良率生产保障,全系列设备均可根据客户需求灵活定制配置,兼顾研发效率与量产经济性,全面支撑光电器件、功率半导体等关键产品的技术迭代与规模化生产。



 美国Veeco公司主要产品型号如下,欢迎咨询选购:



 一、激光加工系统

1.  LSA 101 激光尖峰退火系统

2.  LSA 201 环境控制激光尖峰退火系统

3.  NSA500 纳秒退火系统


 二、MOCVD系统(金属有机化学气相沉积)

1.  TurboDisc EPIK 700 GaN MOCVD系统

2.  TurboDisc EPIK 868 GaN MOCVD系统

3.  TurboDisc K465i GaN MOCVD系统

4.  TurboDisc K475i As/P MOCVD系统

5.  Lumina As/P MOCVD系统

6.  Propel GaN MOCVD系统(研发与小批量生产)

7.  Propel HVM GaN MOCVD系统(高容量生产)

8.  Propel 300mm GaN MOCVD系统(适用于5G、光子学和CMOS)

9.  Propel emPower GaN MOCVD系统(多腔室,用于功率电子和射频)


 三、原子层沉积系统(ALD)

1.  Savannah G2(热ALD,用于研发)

2.  Fiji G2(等离子增强ALD,用于研发)

3.  Phoenix G2(批量生产ALD)

4.  Firebird(大规模量产ALD)


 四、湿法处理系统

1.  WaferStorm平台(溶剂型工艺解决方案)

    - WaferStorm ML(手动加载,适用于研发和中试)

    - WaferStorm 3300系列(高容量生产)

2.  WaferEtch平台(水性工艺解决方案)

    - WaferEtch ML(手动加载,适用于研发和中试)

    - WaferEtch 3300系列(高容量生产)


 五、光刻系统

1.  AP200 投影光刻机

2.  AP300 投影光刻机


六、离子束系统

1.  SPECTOR 离子束溅射系统(IBD)

2.  SPECTOR 大面积离子束沉积系统

3.  SPECTOR-HT 离子束沉积系统

4.  SPECTOR 双离子束溅射系统


七、SiC CVD系统(碳化硅化学气相沉积)

1.  EpiStride SiC CVD系统(单反应器配置)

2.  EpiStride SiC CVD系统(双反应器配置)

3.  Epiluvac ER3-C1 SiC分子外延系统


 八、分子束外延系统(MBE)

1.  GENxplor MBE系统(研发用)

2.  GENxcel MBE系统(研发用)

3.  GEN10 MBE系统(研发用)

4.  GEN20 MBE系统(灵活配置,适用于多种化合物半导体材料)

5.  GEN20-Q MBE系统(专为量子器件设计)

6.  GEN200 MBE系统(多晶圆量产,高性价比)

7.  GEN2000 MBE系统(高容量量产,最优拥有成本)


 九、物理气相沉积系统(PVD)

1.  NEXUS PVDi系统


 十、气体和蒸汽输送系统

1.  Piezocon 气体浓度传感器

2.  Apex 气体混合系统


其他注意事项:

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取,欢迎咨询。

我公司自营进出口权,直接海外采购,国外现货航空件几天就能交到您的手中。


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