东洋碳素是源自日本的全球领先炭素材料企业，以探索碳元素的无限潜力为核心使命，始终致力于高功能炭素制品的研发、制造与销售。公司从对碳材料的基础研究起步，逐步发展为覆盖多个业务领域的综合性集团，在等静压石墨开发领域拥有开创性成就，其技术突破大幅拓展了碳材料在尖端工业领域的应用边界。东洋碳素的产品广泛服务于半导体、新能源、航空航天、电子信息及化工等关键行业，尤其在半导体制造用碳化硅涂层石墨基座领域占据重要市场地位。集团秉持追求理想品质的理念，通过持续创新与精密制造，为全球客户提供从基础炭素材料到定制化解决方案的全链条支持，同时注重技术协作与可持续发展，不断推动炭素材料技术的进步与应用拓展。

东洋碳素的PERMA-KOTE碳化硅涂层石墨基板系列是专为半导体外延生长等高温精密工艺设计的核心部件，采用高纯度碳化硅涂层与优质石墨基材结合的先进工艺制成，涂层与基材结合紧密，不会出现龟裂和层离问题，能有效防止石墨颗粒分离、气体释放及杂质污染，确保工艺环境的洁净度与稳定性。该系列产品按应用场景主要分为硅外延生长承载盘、碳化硅外延生长基座、MOCVD承载盘及单晶硅制造设备专用组件等型号，适配不同尺寸晶圆的加工需求，涵盖从中小尺寸到超大尺寸的各类规格，可根据客户设备参数定制设计外形与结构。涂层方面，标准厚度为120微米，同时可在20至500微米的范围内灵活调整，以满足不同工艺对耐腐蚀性、导热性及使用寿命的要求，碳化硅涂层具备卓越的抗氧化性、耐化学腐蚀性与高温稳定性，即使在超高温环境下也能保持结构稳定与性能可靠。石墨基材选用高纯度等静压石墨，兼具高导热率与优异的热分布性能，能实现均匀的温度场控制，提升晶体生长质量，部分型号还针对特定工艺需求优化了表面粗糙度与平整度，减少晶圆与基板间的接触瑕疵，此外，该系列产品还可根据应用需求提供特殊表面处理与定制化接口设计，适配各类外延炉与半导体制造设备，为半导体行业的高效生产与品质提升提供坚实保障。

东洋碳素公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：

一、特殊石墨（等静压石墨）系列

1.  高纯等静压石墨

    1.  IG系列（IG-11、IG-110、IG-15、IG-43、IG-55、IG-63）

    2.  ISO系列（ISO-63、ISO-88、ISO-98）

    3.  TTK系列（TTK-4、TTK-50、TTK-88）

    4.  HPG系列（HPG-83、HPG-88）

2.  工业用石墨材料

    1.  放电加工专用石墨

    2.  热弯石墨模具材料

    3.  单晶炉用石墨部件

    4.  光伏产业专用石墨

3.  核工业与航空航天石墨

    1.  核反应堆用石墨组件

    2.  航天器热防护石墨材料

    3.  火箭发动机用石墨部件

    4.  高温炉用石墨发热体

二、表面处理与涂层产品系列

1.  碳化硅涂层石墨（PERMA-KOTE）

    1.  硅外延生长承载盘

    2.  碳化硅外延生长基座

    3.  MOCVD承载盘

    4.  单晶硅制造设备专用组件

2.  石墨表面改性产品

    1.  抗氧化涂层石墨

    2.  导电涂层石墨

    3.  绝缘涂层石墨

    4.  防粘涂层石墨

3.  石墨薄膜产品（PERMA-FOIL）

    1.  高纯石墨薄膜

    2.  柔性石墨片材

    3.  石墨密封垫片

    4.  导热石墨膜

三、C/C复合材料系列

1.  碳纤维增强碳复合材料

    1.  航空航天用C/C复合材料

    2.  刹车系统用C/C复合材料

    3.  高温炉用C/C复合材料

    4.  半导体设备用C/C复合材料

2.  C/C复合材料部件

    1.  卫星结构件

    2.  飞机刹车片

    3.  火箭喷管组件

    4.  半导体热场部件

3.  定制化C/C复合材料

    1.  异形C/C复合材料制品

    2.  耐高温C/C复合材料组件

    3.  高导热C/C复合材料部件

    4.  低密度C/C复合材料结构件

四、机械用碳制品系列

1.  树脂结合碳制品

    1.  KC系列机械碳

    2.  K系列机械碳

    3.  KB系列机械碳

    4.  KM系列机械碳

2.  金属浸渍碳制品

    1.  青铜浸渍碳

    2.  锑浸渍碳

    3.  巴氏合金浸渍碳

    4.  银浸渍碳

3.  碳-石墨密封件

    1.  泵用碳密封环

    2.  压缩机用碳密封件

    3.  阀门用碳密封环

    4.  机械密封端面环

五、电气用碳制品系列

1.  碳刷产品

    1.  发电机用碳刷

    2.  电动机用碳刷

    3.  牵引电机用碳刷

    4.  工业电机用碳刷

2.  碳滑板与受电弓部件

    1.  高铁用碳滑板

    2.  地铁用碳滑板

    3.  电力机车用碳滑板

    4.  受电弓碳接触片

3.  电气设备用碳配件

    1.  换向器用碳片

    2.  集电环用碳刷

    3.  电火花加工用碳电极

    4.  电池用碳材料

六、半导体与电子专用碳制品系列

1.  半导体制造用石墨部件

    1.  外延炉石墨基座

    2.  离子注入机石墨部件

    3.  刻蚀设备石墨组件

    4.  薄膜沉积设备石墨部件

2.  LED与显示器件用碳材料

    1.  MOCVD设备石墨承载盘

    2.  蓝宝石生长炉石墨部件

    3.  OLED制造用石墨模具

    4.  平板显示用石墨加热器

3.  光伏产业用碳制品

    1.  太阳能电池片制造用石墨部件

    2.  硅片切割用石墨垫

    3.  光伏电池封装用石墨模具

    4.  太阳能发电系统用碳材料

其他注意事项：

更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。

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