美国Entegris公司是一家全球领先的先进材料与工艺解决方案供应商，主要为半导体、生命科学及其他高科技行业提供关键产品与服务。公司致力于通过其深厚的科学知识和工程能力，帮助客户解决制造过程中最复杂的技术挑战，从而提升生产效率、良率及产品可靠性。Entegris的核心业务围绕污染控制、流体管理、微环境基板处理以及特种材料四大领域展开，其产品线覆盖了从芯片制造前端到后端的多个关键环节，例如提供高纯度的化学品、气体过滤与纯化系统、精密的流体输送部件以及用于晶圆和光罩保护与运输的各类载具。该公司以协作创新为核心理念，通过与客户紧密合作，共同应对行业技术演进中的难题，在半导体产业链中扮演着不可或缺的角色。
其中Entegris的晶圆载具系列，这是一个用于在半导体制造过程中安全存放、保护及运输不同尺寸晶圆的产品家族，主要目的是防止晶圆受到物理损伤、微尘污染或静电放电影响。该系列产品针对不同晶圆尺寸和应用场景提供了非常细致的划分。对于目前主流的300毫米晶圆，其核心产品是前开式统一晶圆盒，这是一种气密性良好的载具，用于在自动化制造设施内部搬运和存储晶圆。针对更早一代的200毫米晶圆，公司则提供了相应的开放式晶圆盒和用于运输的专用载具，同时也包含一系列适配的配件。对于尺寸更小的150毫米、125毫米、100毫米乃至更古老的七十六点二毫米晶圆，Entegris也分别开发了专门的加工载具和运输盒。此外，针对已完成大部分工艺、需要更安全运输的成品晶圆，公司设计了采用非接触式水平堆叠技术的SmartStack系列运输盒，能最大限度避免晶圆表面产生划痕。除了标准圆形晶圆，该系列还包括用于封装环节的薄膜框架环及其配套的运输载具。这些晶圆载具通常由高纯度、低释气的导电或抗静电塑料制成，其具体参数如内部尺寸、晶圆间距、材质电阻率以及耐温性能等，会根据晶圆尺寸和特定工艺步骤的要求而精确设计，用户通常需要根据自身设备的接口标准和工艺规范来选择最匹配的型号。
美国Entegris公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：
一、气体过滤与净化产品
Wafergard 系列（含 Wafergard 1.5” W-Seal、Wafergard III NF-75、Wafergard II SF）
Linegard Micro 系列
O2S 氧气纯化器
HCL 氯化氢气体纯化器
气体扩散器系列
镍基气体过滤器系列
二、流体管理系统
1. 阀门
CR 系列阀门
CH 系列阀门
NT™ Proportional Control Valves
手动 / 气动高流量阀门
旋塞阀系列
2. 接头
PureBond 可焊管接头（PFA HP Plus 材质）
PureBond 可焊管接头配件
Quik 系列接头
通用型高纯接头
3. 压力控制与传感
NT™压力传感器（蓝宝石传感器）
压力调节器系列
压力变送器系列
4. 流体输送与包装
Unichem 3000 系列液体输送系统
ProE-Vap 100/200 输送系统
FluoroPure 中型散装容器（IBC）
高纯储罐系列（单 / 双容量、矩形 / 圆形）
生物制药支撑容器
5. 歧管与组件
定制歧管组件
高纯流体歧管
其他注意事项：
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。
我公司自营进出口权，直接海外采购，国外现货航空件几天就能交到您的手中。
