NuScan 9000系列是Onto Innovation专门为解决先进半导体制造中极其关键的纳米级振动问题而设计的一套精密分析模块。这个系列并非单一产品，而是包含了针对不同应用场景和集成需求的多个型号，它们共同的核心功能是将难以捉摸的、微小的物理振动进行量化、可视化并精准定位其来源。具体来说，该系列产品能够以极高的灵敏度探测和分析由各种设备产生的亚纳米级振动，这些振动如果得不到有效控制，将直接导致光刻对准偏差、图形失真以及最终良率的灾难性下降。通过将这些模块集成到生产线上或用于离线分析，工程师可以实时监测关键设备的健康状态，并对工艺环境进行微调。例如，不同型号的NuScan 9000可能在探测带宽、通道数量、空间分辨率以及与分析软件的数据交互深度上有所差异，以适应从研发实验室的详细诊断到全自动量产线的持续监控等不同任务。其提供的详尽振动数据图谱和分析报告，能够指导工程师精准定位并排除哪怕是极其细微的机械干扰源，从而确保在极紫外光刻EUV和纳米压印光刻NIL等最尖端工艺中，设备能够在极其稳定的环境中运行，这对于制造出性能更强大、功耗更低的下一代芯片至关重要.

Onto Innovation公司主要产品型号如下，欢迎咨询选购：

检测设备：Dragonfly G3、Dragonfly G2、Dragonfly、Firefly G3、Firefly、Discovery 9800、Discovery 9650、Discovery 9500、蓝光系列

量测设备：Aleris 9500、Aleris 8500、Aleris、SpectraShape 9000、SpectraShape 11k、Theta 300、Theta i、Aspect 900、Boxer 9500

光刻设备：JetStep G3000、JetStep G2000、JetStep S系列、JetStep W2300

软件及数据分析：Odysis、FACTORY VISION、PatternMatch、iGot

刻蚀及沉积设备：Paradigm PECVD、Paradigm ICP、Paradigm DS