表面与轮廓测量
原子力显微镜（AFM）
触针式轮廓仪（Dektak XT 系列）
光学轮廓仪（白光干涉仪）
分子与材料分析
X射线衍射（XRD）、拉曼光谱
生命科学仪器
质谱仪、核磁共振（NMR）
Dektak XT 是 Bruker 的 高精度触针式表面轮廓仪，用于测量表面粗糙度、台阶高度、薄膜厚度等，广泛应用于半导体、光学、光伏和材料科学研究。
| 型号 | 垂直分辨率 | 水平分辨率 | 最大扫描长度 | 触针力范围 | 典型应用 |
|---|---|---|---|---|---|
| Dektak XT-E | 0.1 Å | 0.5 µm | 55 mm | 1–15 mg | 半导体晶圆、MEMS 器件 |
| Dektak XT-S | 1 Å | 1 µm | 110 mm | 1–30 mg | 光学涂层、金属表面粗糙度 |
| Dektak XT-U | 0.5 Å | 0.25 µm | 200 mm | 0.5–20 mg | 超光滑表面（如硬盘、蓝宝石） |
| Dektak XT-L | 2 Å | 2 µm | 300 mm | 5–50 mg | 大型样品（光伏面板、显示屏） |
非破坏性测量：超低触针力（最小 0.5 mg）避免样品损伤。
高分辨率：垂直分辨率最高达 0.1 Å（XT-E），接近原子级精度。
自动化功能：可选 自动样品台、多区域扫描 和 3D 映射。
软件支持：
Vision64：数据采集与分析软件，支持 ISO/ASME 粗糙度标准。
MapSuit：3D 表面形貌重建。
环境控制模块
真空吸附台：减少振动干扰（适用于纳米级测量）。
温控样品台：-20°C 至 +150°C 温度范围内测试。
特殊触针
钻石针尖：用于硬质材料（如陶瓷、金属）。
聚合物针尖：避免软材料（如聚合物、生物样品）划伤。
光学辅助系统
集成显微镜：精确定位测量区域。
半导体制造：
晶圆表面平整度、光刻胶厚度测量
光学工业：
透镜/反射镜的粗糙度与台阶高度分析
材料科学：
薄膜涂层、纳米结构的形貌表征
质量控制：
汽车零部件、医疗器械的表面缺陷检测
Dektak XT 系列 是 Bruker 在 接触式轮廓测量 领域的标杆产品，覆盖从 亚埃级（0.1 Å） 到 宏观尺寸（300 mm） 的测量需求。
通过 模块化设计 满足不同行业需求，尤其适合 高精度、小尺寸样品 的表面分析。
（注：1 Å = 0.1 nm；触针力单位：mg = 毫克。）
其他注意事项：
更详细的技术资料需通过提供项目详情获取，欢迎咨询。
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